潔淨室的排風裝置與防排煙

　　1。 局部排風

　　各種電子產品生產過程不可避免化學濾網地將會有各類粉塵、有害氣體、有害物質的排出，防止它們在潔淨室內擴散、污染的有效方法是在相關設備處采取局部排風方式經處理達標後排至室外。對於如下情況的局排系統應獨立設置。

　　①排風介質混合後能產生加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性；

　　②排風介質中有毒與無毒，毒性相差很大；

　　③易燃、易爆與一HEPA般排風；

　　④潔淨室的排風系統設計時，應采取下列技術措施。

　　為防止室外的氣流倒灌流入室內，引起污染和積塵，常用防倒灌措施⑴設置中無塵室設備工程效過濾器；⑵采用止回閥，使用方便但密封性較差；⑶采用密閉閥、密封性好，但結構復雜；⑷采用自控裝置等。

　　①含有易燃、易爆局部排風系統應采用與排出物質相適應的防火、防爆措施。

　　②排風介質中有害濃度及排放量超過國家或地區有害物排放濃度及排放量規定時應進行無害化處理，達標後才能排入大氣。

　　③對含有水蒸汽和凝結性物質的排風系統，應設坡度及排放口，以即時排除凝結液。

　　潔淨廠房內的換鞋、存外衣、盥洗、廁所和沐浴等生產輔助房間，應采取通風措施，其室內的靜壓值，應低於潔淨區。

　　潔淨室應根據生產工藝要求設置事故排風系統。事故排風系統應設自動和手動控制開關，手動控制開關應分別設在潔淨室及潔淨室外便於操作的地點。一般對於有除味濾網可能散發有害氣體或易燃易爆氣體的潔淨室(區)應設事故排風裝置。

　　排風系統的設備、管道和附件的制作材料、保溫材料、塗料，應根據排出的氣體性質、狀態等條件選用合適的材質，通常應符合下列要求。

　　①排風系統的風管應采用不燃材料。這裡所指的不燃材料是各種類型的金屬板材，包括碳鋼、不鏽鋼、有色金屬板材，具有選用應按排氣的性質確定。

　　②排除腐蝕性氣體的風管，應采用耐腐蝕的難燒材料。這裡所指的難燒材料主要是氧指數等於大於32的玻璃鋼等。

　　③附件、保溫材料、消聲材料和塗料等均采用不燃材料或難燃材料。這裡所指的不燃材料主要是岩棉、玻璃棉等；難燃材料主要是氧指數大於等於32的橡塑海綿、聚氨脂等。

　　2。 潔淨室的防排煙設計

　　潔淨廠房是密閉無窗或設固定窗的房間，設置防排煙系統是確保人員疏散的必要方法之一。

　　排煙量的確定，設置機械排煙設施的場所，其排煙風機的排煙量，當擔負一個防煙區排煙時，應不小於60m3/h/m2計算排煙量；擔負兩個或兩個以上防煙分區的排煙系統時，應按最大的防煙分區的面積不小於120 m3/h/m2計算排煙量。單台排煙風機的最小排煙量不應小於7200 m3/h。排煙風機的選型，排煙風機可采用離心機或排煙專用風機，風量應考慮10%活性碳濾網—20%的漏風量，風壓應滿足排煙系統最不利環路的要求。在風機入口總管上，設置當煙氣溫度超過280℃能自動關閉的防火閥，且應與排煙風機連鎖。

　　排煙口的設置，排煙口或排煙閥應設置在頂棚內的牆面上，且與鄰近安全出口相鄰邊緣之間的水平距離不應小於1。5m，距可燃物體的距離不應小於1。0m；排煙口或排煙閥平時應關閉，並應設手動或自動開啟裝置，排煙口與該防煙分區內最遠的水平距離不應超過300m。

高效過濾器為什麼必須定期更換?

　　為什麼說高效過濾器必須定期得更換?

　　對於運行中化學濾網的潔淨室，末端高效過濾器的價值並不高，全部加起來可能還不到用戶兩個小時的產值，但更換過濾器的風險和間接費用會很高。

　　更換高效過濾器時要停產，停產損失隻有業主自己能算出來，這筆損失肯定比過濾器的備件費用高。更換過濾器是十分仔細的操作，潔淨室內的任何東西都經不起折騰，碰壞一個不起眼的設備，其損失可能會高於全部過濾器的費用。更換過濾器後要由專業人員進行檢測，有時還要對空調系統進行調試，然後還要經過一段時間的HEPA試運行。檢測、調試、試運行，三項費用加到一起，可能會與過濾器價格不相上下。聰明的業主總是希望盡可能地延長高效過濾器的使用壽命，不是為了省過濾器那幾個錢，他們是想避免因更換過濾器而產生的一堆麻煩。

　　舉個極端的例子，當代芯片廠潔淨室末端高效過濾器的設計使用壽命為“一輩子”，即：投入運行後永遠不操高效過濾器的芯。那種工廠的技術日新月異，一個新項目投產後5～7年就落後了，工藝必須更新，廠房要改造，高效過濾器也同時報廢。在那裡，高效過濾器的“一輩子”也就是7年，為了保險，設計師將過濾器的設計使用壽命定為10～20年。

　　高效過濾器上積灰過多時阻力增大，大到影響正常送風時，高效過濾器就該報廢。增大高效過濾器的過濾麵積或增加過濾器的數量，都能延長過濾器的使用壽命。但那些做法的游戲空間不大，你不可能無限地增大過濾麵積，

　　要延長無塵室設備工程高效過濾器的使用壽命，最根本的辦法是將灰塵擋在預過濾器。更換預過濾器一般無須停產，無須調試，所以有經驗的業主會把注除味濾網意力和金錢花在預過濾器上。

　　對於10000級和100000級潔淨廠房，預過濾可選用F8過濾器(比色法95%)，這樣，末端高效過濾器的使用壽命一般可達5年。在國外項目中和國內新建項目中，F8過濾器是非均勻流潔淨室最常見的預過濾器。

　　對於芯片廠100級、10級或更高級別的潔淨廠房，預過濾器的常見效率級別為H10(MPPS85%)，許多新建項目索性選用HEPA(對0。3mm粒子的效率≧99。97%)。設計師號稱保證末端高效過濾器使用“一輩子”，其方法不過如此。

　　在國內過去的潔淨室空調系統設計中，過濾器的常見配置為：粗效→中效→高效。那時末端高效過濾器的使用壽命僅為1～3年，最差的也就幾個月。

　　有些場合，對高效過濾器使用壽命的規定不是出於對阻力的考慮，而是其它因素。若廠房中有氫氟酸，而車間空調又不是全新風系統，高效過濾器中的玻璃纖維濾紙會受到回風的腐蝕，為了安全，必須定期更換高效過濾器。有些財大氣粗的製藥廠，每年雨季過後要更換高效過濾器，為的是防止過濾器上任何可能的霉菌污染。有些生物實驗室和與危險品打交道的實驗室，在開展一項新的重要課題活性碳濾網前，為了可靠，上司會要求使用新的高效過濾器。